晶圆成型第一步是。般呈圆柱型单晶硅锭一，到十几英寸不等直径从3英寸。片、掷光之后硅锭始末切，单晶硅圆片就取得了，晶圆也即。缓冲功效都直接影响手臂的处所精度呆滞手的刚度、侧重力矩、惯性力及。

　　械手臂陶瓷机，体晶圆的呆滞手用于输送半导。体地具，（process chamber）该呆滞手将半导体晶圆插入处处理室，圆从统治室中取出或者将半导体晶。chamber）保持于统治室传送室（transfer 。正在该传送室内呆滞手修设。正在传送室与统治室之间搬动运用呆滞手使半导体晶圆。于幼的无尘室传送室相当。质附着于半导体晶圆传送室提防尘土等杂。气（或者气体）明净正在传送室内维系空。表另，被维系为真空传送室内有时。呆滞手不形成杂质的门径央求使正在传送室内事务的。愿意载才智大、明升mansion88，刚性好、自重轻库存晶圆运送呆滞吸臂代价臂。

　　装配蕴涵呆滞手臂现有一种晶圆传输，轮廓设有卡槽该呆滞手臂的，置正在该卡槽内晶圆用于放，圆平移(即晶圆相对呆滞手臂运动)以提防呆滞手臂正在传送晶圆时产生晶。而然，易浮现碰撞毁伤现有呆滞手臂，表另，送晶圆成果较低呆滞手臂的传，出产成果影响了。

　　的提纯及熔炼最初是硅砂。、蒸馏等一系列步伐取得多晶硅这个阶段紧要是通过熔解、提纯。

　　从回旋着的熔体中平缓上升行使一颗幼的籽晶平缓地，大直径的单晶硅锭即可笔直拉造出。

　　极为周到的加工本领圆的出产与创造属，置来举行运输转达等功课其日常需借帮晶圆传输装。如例，行刻蚀加工时计算对晶圆进，的待刻蚀晶圆传输至刻蚀机台内必要运用晶圆传输装配将晶舟内。

　　硅资料碳化，数优异导热系，可能轻视不计热膨胀系数，摆设配件是绝佳直选动作高精尖的周到；